ディフューザーポンプ

ディフューザーポンプとは、日本語では拡散ポンプともよばれ、高揚程・低流量型のポンプのことである。半導体製造装置で使われている。
拡散オイルを循環させて、内部に真空に近い空間を作り出すものである。