電子線マイクロアナライザーとは、物質表面の構成元素を定性・定量分析するための分析装置のこと。電子線マイクロアナライザーによって、物質表面の元素分布状態をカラー表示する。コンクリートを対象とした場合、炭層の面分析結果から中性化の進行状況が、塩素の面分析結果から塩化物イオンの浸透深さが、硫黄の面分析結果からは下水道の劣化状況などが解析できる。補修分析の含浸深さの確認や防食材料の耐久性評価などにも活用されている。
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